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J-GLOBAL ID：200902287367708009   整理番号：04A0692733

選択絶縁膜形成のための電着有機薄膜形成技術

著者 (8件)： 阪田知巳 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  岡部勇一 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  町田克之 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  矢野正樹 (NTTアドバンステクノロジ) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  亀井敏和 (NTTアドバンステクノロジ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 65th  号： 2  ページ： 681  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *有機化合物 ,...

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分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 絶縁膜 ,  電着 ,  有機薄膜