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J-GLOBAL ID：200902289227143810   整理番号：08A0671412

偏光分析CMOSセンサ搭載マイクロチャンバデバイス

Microchamber device equipped with CMOS image sensor for polarization analysis

著者 (4件)： 皆川亨介 (奈良先端科学技術大学院大) ,  山田博文 (奈良先端科学技術大学院大) ,  徳田崇 (奈良先端科学技術大学院大) ,  太田淳 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： BMS-08  号： 6-15  ページ： 13-16  発行年： 2008年06月12日 
JST資料番号： L6187A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年のμTAS(Micro Total Analysis System)の研究は,樹脂基板やガラス基板上に設けた微細流路上で液体の高効率の化学反応などを行うデバイスを目的に行われる。この種デバイスはMEMS(Micro Electromechanical Systems)や半導体加工技術など微細加工技術の進展とともに開発が進んだ。しかしμTAS上で化学反応や混合は行われても,計測機能の集積化までの例は乏しい。本研究では,CMOSセンサを活用して,計測機能を集積化したマルチファンクショナルCMOSセンサChemo-Photonic LSIを搭載したマイクロシステムの構築を目指し,今回は偏光分析用CMOSセンサ搭載のマイクロチャンバを作製した。CMOSフォトダイオードアレイの上にメタル配線層を用いてオンチプップ偏光子を形成した。試作デバイスによって,旋光度計測およびそれを利用した経時的スクロース濃度変化計測を検証できた。

シソーラス用語： *MEMS ,  *微細加工 ,  分析機器 ,  センサ ,  *CMOS構造 ,  旋光分析 ,  フォトダイオード ,  偏光子 ,  *計測システム ,  *CMOSセンサ ,  マイクロ総合分析システム ,  *MOS構造
準シソーラス用語： マイクロTAS ,  偏光分析

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (4件)：

• T. Tokuda et al., “A CMOS image sensor with optical and potential dual imaging function for on-chip bioscientific applications,” Sensors & Actuators: A, vol.125(2) pp. 273-280, 2006.
• T. Tokuda et al., “Optical and Electrochemical dual-image CMOS sensor for on-chip biomolecular sensing applications,” Sensors & Actuators: A, vol.135, pp. 315-322, 2007.
• M. L. Adams et al., “Microfluidic integration of detector arrays for absorption and fluorescence micro spectrometers,” Sensors and Actuators A, vol.104, pp. 25-31, 2003.
• A. G. Andreou et al., “Polarization imaging: principles and integrated polarimeters,” IEEE Sensors Journal, vol.2, pp. 566-576, 2002.

タイトルに関連する用語 (2件)： 偏光分析 ,  CMOSセンサ