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J-GLOBAL ID:200902290359144938   整理番号:09A1003556

レーザーアブレーション過程でのSiナノ結晶の集合体構造の総ガス圧と水素分圧の依存性

著者 (5件):
資料名:
巻: 70th  号:ページ: 1052  発行年: 2009年09月08日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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レーザ照射・損傷  ,  半導体の結晶成長 

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