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J-GLOBAL ID：200902291142184423   整理番号：04A0726666

液相法による酸化物誘電体ナノ薄膜の作成

Preparation of an oxide dielectric nano thin film by liquid-phase method.

著者 (2件)： 青木芳尚 (理研) ,  国武豊喜 (理研)
資料名： 第2回ナノテクノロジー総合シンポジウム講演予稿集 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 平成16年
ページ： 230-231  発行年： 2004年 
JST資料番号： N20041771  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法によるち密なHfO₂超薄膜...

シソーラス用語： *絶縁材料 ,...

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分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 液相 ,  酸化物 ,  誘電体 ,  ナノ薄膜