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J-GLOBAL ID：200902293397054020   整理番号：04A0537650

誘電体障壁の放電を利用したシリコン太陽電池に関する電極表面の活性化

Activation of Electrode Surface on Silicon Solar Cell Using Dielectric Barrier Discharge

著者 (6件)： SAKODA T (Sojo Univ., Kumamoto, JPN) ,  MATSUKUMA K (Hitachi Ltd., Hitachi, JPN) ,  ARAKI I (Hitachi Ltd., Hitachi, JPN) ,  SUNG Y-M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  TERAKAWA T (Kyushu Univ., Kasuga, JPN) ,  FURUKAWA K (Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 6A  ページ： 3275-3280  発行年： 2004年06月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン太陽電池の電極表面を活性化するために,湿式洗浄技術の...

シソーラス用語： 誘電体薄膜 ,...
準シソーラス用語： 曲線因子

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分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 四ふっ化炭素

引用文献 (7件)：

• 1) T. Warabisako, K. Matsukuma, S. Kokunai, Y. Kita, T. Uematsu and H. Yagi: Proc. 23rd IEEE Photovoltaic Specialist Conf., 1993, p. 248.
• 2) A. Moehlieck, I. Zanesco and A. Luque: Proc. 1st World Conf. and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion 1994, p. 1663.
• 3) T. Joge, I. Araki, T. Uematsu, T. Warabisako, H. Nakashima and K. Matsukuma: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 5397.
• 4) B. Eliasson, M. Hirth and U. Kogelschatz: J. Phys. D 20 (1987) 1421.
• 5) S. Yagi and M. Tabata: J. Phys. D 12 (1979) 1509.

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘電体 ,  障壁 ,  放電 ,  シリコン太陽電池 ,  電極表面 ,  活性化