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J-GLOBAL ID：200902298371245996   整理番号：08A0943764

MEMS微小可動部の保護封止技術の検討

著者 (11件)： 千野満 (ミスズ工業) ,  真弓功人 (ミスズ工業) ,  田澤浩 (ミスズ工業) ,  島田照男 (ミスズ工業) ,  亀井敏和 (NTT-AT) ,  矢野正樹 (NTT-AT) ,  町田克之 (NTT-AT) ,  佐藤昇男 (NTT) ,  桑原啓 (NTT) ,  石井仁 (NTT) ,  日暮栄治 (東大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 69th  号： 2  ページ： 760  発行年： 2008年09月02日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  *実装 ,  カプセル封じ ,  スクリーン印刷 ,  保護膜 ,  接着強さ

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  微小 ,  可動部 ,  封止