特許

J-GLOBAL ID：200903001149170750

光スイッチ装置及びその製造方法

発明者： 石井 仁 ,  町田 克之 ,  田辺 泰之 ,  八木 祥次
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012668
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】ミラーが、駆動の際に制御電極部と接触することを防止し、円滑な動作が続けられるようにする。【解決手段】電着ポリイミド溶液に、支柱120及び制御電極部140が形成された基板101と対向電極とを浸漬し、支柱120及び制御電極部140に正電圧を印加するとともに、上記対向電極には負電圧を印加する。これにより、電着ポリイミド溶液中に溶解している材料が、正電圧が印加された支柱120,制御電極部140の溶液中に露出している表面に付着し、これら表面にポリイミド膜160が形成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上の層間絶縁膜の上に形成された導電性を有する支柱と、 この支柱に支持されて前記層間絶縁膜の上部に所定の空間をあけて配置され、開口領域を備えるとともに電気的に接続された導電性を有するミラー基板と、 このミラー基板の前記開口領域の内側に配置されて前記ミラー基板に連結部を介して回動可能に連結されかつ電気的に接続された導電性を有するミラーと、 このミラーの下部の前記層間絶縁膜の上に前記ミラーと離間して形成され、かつ表面がポリイミドからなるポリイミド膜で覆われた制御電極部と、 前記層間絶縁膜下の前記半導体基板上に形成された複数の素子からなり、前記支柱及び前記制御電極部に接続されて前記ミラーの回動動作の制御を行う制御回路と を少なくとも備えたことを特徴とする光スイッチ装置。

IPC (3件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (3件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Fターム (5件)：

2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-211218
  
• 光偏向器および該光偏向器を用いた画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-270171   出願人：キヤノン株式会社