特許
J-GLOBAL ID：200903036821032318
静電チャック。
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-058856
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286333
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【目的】 使用温度に合せて安定した静電特性を発揮する静電チャックを得る。【構成】 静電チャックの絶縁層2は、アルミナと遷移金属酸化物との固溶体粒子21及び固溶体粒子の粒界に存在するガラス22からなる。ここで、遷移金属酸化物としてはアルミナとの間で固溶体を作るもの、具体的にはアルミナと結晶構造が類似するコランダム構造の結晶構造となるクロミア(Cr2O3)が挙げられる。
請求項（抜粋）：
絶縁層内に内部電極を設けた静電チャックにおいて、前記絶縁層はアルミナとコランダム構造のクロミア(Cr2O3)との固溶体粒子及び固溶体粒子の粒界に析出する遷移金属酸化物からなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
