特許

J-GLOBAL ID：200903062459594338

半導体装置及び半導体装置の製造方法

発明者： 寺島 浩一 ,  竹内 潔 ,  山上 滋春 ,  若林 整 ,  小椋 厚志 ,  渡部 宏治 ,  辰巳 徹 ,  武田 晃一 ,  野村 昌弘 ,  田中 聖康
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004015405
公開番号（公開出願番号）：WO2005-038931
出願日： 2004年10月19日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

ソース/ドレイン領域の少なくともその幅が最も大きい部分では半導体領域の幅よりも大きく、かつソース/ドレイン領域の最上部側から基体側に向かって連続的に幅が大きくなっている傾斜部を有し、該傾斜部表面にシリサイド膜が形成されていることを特徴とする半導体装置とする。

請求項（抜粋）：

基体上に設けられた突起状の半導体領域と、該半導体領域を挟んで形成された突起状のソース/ドレイン領域と、絶縁膜を介して該半導体領域の少なくとも側面上に設けられたゲート電極とを備えた半導体装置であって、 該ソース/ドレイン領域は、少なくともその幅が最も大きい部分では前記半導体領域の幅よりも大きく、かつ該ソース/ドレイン領域の最上部側から基体側に向かって連続的に幅が大きくなっている傾斜部を有し、該傾斜部表面にシリサイド膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/08

FI (11件)：

H01L29/78 618C ,  H01L21/28 301S ,  H01L29/78 301X ,  H01L29/78 617K ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616L ,  H01L29/78 613Z ,  H01L29/50 M ,  H01L27/08 102D ,  H01L27/08 102C ,  H01L27/08 331E

Fターム (131件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB29 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB34 ,  4M104BB36 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD55 ,  4M104DD79 ,  4M104DD84 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104FF01 ,  4M104GG09 ,  5F048AC01 ,  5F048AC04 ,  5F048BA10 ,  5F048BA16 ,  5F048BB01 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BC01 ,  5F048BC06 ,  5F048BC11 ,  5F048BC16 ,  5F048BD01 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048DA25 ,  5F110AA03 ,  5F110AA16 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD13 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE22 ,  5F110EE30 ,  5F110EE32 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG17 ,  5F110GG22 ,  5F110GG28 ,  5F110GG30 ,  5F110GG34 ,  5F110HJ14 ,  5F110HK05 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK40 ,  5F110HM02 ,  5F110HM03 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17 ,  5F140AA01 ,  5F140AA30 ,  5F140AA39 ,  5F140AB01 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BA20 ,  5F140BB02 ,  5F140BB05 ,  5F140BC06 ,  5F140BC13 ,  5F140BC15 ,  5F140BD01 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BD13 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BG20 ,  5F140BG28 ,  5F140BG31 ,  5F140BG37 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH06 ,  5F140BH09 ,  5F140BH10 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK14 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34