特許

J-GLOBAL ID：200903082110836912

走査型プローブ顕微鏡およびこれを用いた情報再生装置

発明者： 真島 豊
出願人/特許権者： 財団法人 理工学振興会
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259537
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065931
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 原子間力顕微鏡などにおける力勾配の測定と変位電流の測定を安定させ、精度を高めることを可能にする走査型プローブ顕微鏡を提供するとともに、この走査型プローブ顕微鏡の構成を用いた高密度の情報再生装置を提供する。【解決手段】 補償電極をカンチレバーの背面側に距離を設けて配置し、カンチレバーとの間に電位差を与えて、カンチレバーに試料と探針との間の距離を遠ざける方向のクーロン力を加えることにより、カンチレバーに試料と探針との間の吸引力を補償し、試料表面と探針との間にはたらく力勾配や、表面電位、磁気力、変位電流、トンネル電流の測定を安定化し、精度を高めることができる。

請求項（抜粋）：

試料表面に近接対向する探針と、自由端の一方の面に前記探針を備え、導電性を有するカンチレバーと、前記カンチレバーを振動させる振動手段と、前記カンチレバーの前記探針を備えた面とは反対側の面に対向し、距離を設けて配置され、前記カンチレバーとの間に電位差を有する補償電極と、前記カンチレバーの振動の周波数、振幅または位相を検出する振動検出装置と、前記探針を前記試料に対して相対的に移動する移動手段とを備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (10件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/20 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/20 ,  G01N 13/22 ,  G01R 33/02 ,  G11B 5/02 ,  G11B 9/14 ,  G12B 21/10 ,  G12B 21/12

FI (11件)：

G01N 13/10 A ,  G01N 13/10 G ,  G01B 21/20 C ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/20 Z ,  G01N 13/22 A ,  G01R 33/02 F ,  G11B 5/02 R ,  G11B 9/14 C ,  G12B 1/00 601 E ,  G12B 1/00 601 F

Fターム (11件)：

2F069AA61 ,  2F069GG04 ,  2F069HH30 ,  2F069NN26 ,  2G017AA09 ,  2G017AD21 ,  2G017AD22 ,  2G017BA15 ,  5D091CC26 ,  5D091DD30 ,  5D091HH20