半導体装置及びその製造方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005005137
公開番号（公開出願番号）：WO2005-091374
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

第1の半導体領域と、第2の半導体領域とを備えた半導体装置であって、(a)該第1の半導体領域は、基体から上方に突起した少なくとも1つの半導体層を有し、該半導体層を跨ぐように絶縁膜を介してゲート電極が設けられ、該半導体層の前記ゲート電極を挟んだ両側にソース/ドレイン領域が設けられて、該半導体層の少なくとも両側面にチャネル領域が形成される電界効果型トランジスタが構成され、(b)前記第2の半導体領域は、基体から上方に突起し、チャネル電流の方向と直交する方向において少なくとも第1の半導体領域を挟んだ両側に形成された半導体層を有し、該半導体層の第1の半導体領域側の側面は、該チャネル電流の方向と平行であることを特徴とする半導体装置。

請求項（抜粋）：

第1の半導体領域と、第2の半導体領域とを備えた半導体装置であって、 (a)該第1の半導体領域は、基体から上方に突起した少なくとも1つの半導体層を有し、該半導体層を跨ぐように絶縁膜を介してゲート電極が設けられ、該半導体層の前記ゲート電極を挟んだ両側にソース/ドレイン領域が設けられて、該半導体層の少なくとも両側面にチャネル領域が形成される電界効果型トランジスタが構成され、 (b)前記第2の半導体領域は、基体から上方に突起し、チャネル電流の方向と直交する方向において少なくとも第1の半導体領域を挟んだ両側に形成された半導体層を有し、該半導体層の第1の半導体領域側の側面は、該チャネル電流の方向と平行であることを特徴とする半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 29/78 , H01L 21/823 , H01L 27/088

FI (5件)：

H01L29/78 618C , H01L29/78 627C , H01L29/78 301X , H01L29/78 301Y , H01L27/08 102B

Fターム (90件)：

5F048AC01 , 5F048BA16 , 5F048BB01 , 5F048BB02 , 5F048BB04 , 5F048BB06 , 5F048BB07 , 5F048BB08 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BC05 , 5F048BD01 , 5F048BD06 , 5F048BF02 , 5F048BF06 , 5F048BF07 , 5F048BF15 , 5F048BF16 , 5F048BF19 , 5F048DA23 , 5F048DA25 , 5F110AA30 , 5F110CC10 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110EE01 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE08 , 5F110EE09 , 5F110EE22 , 5F110EE29 , 5F110EE31 , 5F110EE38 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF04 , 5F110FF23 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG29 , 5F110GG30 , 5F110HJ14 , 5F110HK05 , 5F110HL01 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HL24 , 5F110HM02 , 5F110HM04 , 5F110HM15 , 5F110NN02 , 5F110NN23 , 5F110NN35 , 5F110QQ01 , 5F110QQ19 , 5F140AA00 , 5F140AB01 , 5F140AC36 , 5F140BA01 , 5F140BB05 , 5F140BC15 , 5F140BE07 , 5F140BF01 , 5F140BF04 , 5F140BF42 , 5F140BF44 , 5F140BG08 , 5F140BG12 , 5F140BG52 , 5F140BG53 , 5F140BH02 , 5F140BH05 , 5F140BH14 , 5F140BJ01 , 5F140BJ05 , 5F140BJ10 , 5F140BJ11 , 5F140BJ17 , 5F140BJ27 , 5F140BJ28 , 5F140BK02 , 5F140BK13 , 5F140CB04 , 5F140CC03 , 5F140CE07

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