特許
J-GLOBAL ID：200903085741993130
反射型光波長板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101600
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278422
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 製造と加工が容易で、耐熱性、耐湿性、柔軟性、機械的強度に優れ、しかも膜厚が薄いために過剰損失の小さな反射型光波長板を提供する。【構成】 フィルム面内の屈折率に異方性を有するポリイミドフィルムとその片面に密着した金属薄膜の反射膜により構成される反射型光波長板。フィルム面内の屈折率に異方性を有するポリイミドフィルムに、真空装置内で金属薄膜を製膜する反射型光波長板の製造方法。製膜をスパッタ法により行うことが好適である。また当該金属薄膜の例としては金薄膜が好適である。【効果】 導波型光デバイスの高性能化、低価格化と作製プロセスの効率化に有効である。
請求項（抜粋）：
フィルム面内の屈折率に異方性を有するポリイミドフィルムとその片面に密着した金属薄膜の反射膜により構成されることを特徴とする反射型光波長板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 F
, C23C 14/20 A
