ガス検知方法およびガスセンサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：牛木護 , 吉田正義 , 松浦康次 , 清水栄松
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005012817
公開番号（公開出願番号）：WO2006-006587
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

本発明は、被検知ガスの吸着量に対するガス感応性薄膜の電気特性の変化量を利用したガス検知方法及びガスセンサを提供する。水晶振動子10上にサンドイッチ電極またはギャップ電極としての特性検出用電極5,6を有するガス感応性薄膜7を配置し、水晶振動子10の発振周波数変化とガス感応性薄膜7の電気特性とを同時に測定することにより、被検知ガス吸着量に対するガス感応性薄膜7の電気特性変化の観測を行う。一体型の素子であるので確実に吸着質量と電気特性の変化の双方をモニターすることができる。

請求項（抜粋）：

水晶振動子または表面弾性波素子上に、被検知ガスの吸着量に応じて電気特性が変化するガス感応性膜と、前記電気特性を検出する特性検出用電極とを積層してなるガス吸着部を配置し、最上層に位置する一方の前記特性検出用電極は、前記被検知ガスが通過可能に構成されたものであり、前記特性検出用電極間の電気特性測定と、前記水晶振動子または前記表面弾性波素子の吸着質量測定とを行うことを特徴とするガス検知方法。

IPC (3件)：

G01N 5/02 , G01N 27/12 , G01N 27/04

FI (3件)：

G01N5/02 A , G01N27/12 B , G01N27/04 E

Fターム (6件)：

2G046BA01 , 2G046BB02 , 2G046BC03 , 2G046CA09 , 2G060AA01 , 2G060DA11

引用特許：

出願人引用 (4件)

ガスセンサ素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-259978 出願人：日本碍子株式会社
化学ガスセンサ用材料及び化学ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-203706 出願人：日本電信電話株式会社
ガスセンサ用の膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-133239 出願人：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社

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