2010 Symposium on VLSI Technologyが,6月16日~18日に米ハワイ州Honoluluにて開催された。参加者数は約400名と減少したが,活発な議論が行なわれた。投稿論文数は215件,採択論文数は78件であった。今年も不揮発性メモリや極薄膜SOIを含む先端CMOSデバイスの発表が多く,さらに探索的デバイス,ばらつき・信頼性・モデリングが続いた。そして,設計容易性や異種材料統合技術の発表が多かった。今後は,設計容易性および3次元集積化技術の分野の発表の増加が期待される。