文献

J-GLOBAL ID：201002217115086547   整理番号：10A1081559

シリコンフォトニクス

Silicon Photonics

著者 (9件)： 森雅彦 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  榊原陽一 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  岡野誠 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  古屋克己 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  亀井利浩 (産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ) ,  金高健二 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ) ,  庄司雄哉 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ) ,  須田悟史 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ) ,  河島整 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 110  号： 193(PN2010 12-22)  ページ： 25-30  発行年： 2010年08月26日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンを光導波路のコアに,SiO₂や空気をクラッドとして用いるシリコンフォトニクスは,高屈折率差により微小光回路を実現できるとともに,既存の成熟したシリコンCMOS技術を光デバイスに転用できるために高品質なデバイスを低コストに実現できる可能性を持つ。また,光電子集積デバイスも作製が可能であり,近年活発な研究開発が進められてきている。われわれも光通信用大規模マトリックススイッチや光インターコネクションを目指しシリコンフォトニクスの研究を進めている。特に,バックエンドプロセスとしての光回路及び,立体的な光配線作製を考えると,低温で多層集積可能なアモルファスシリコンを用いた技術の開発が重要である。(著者抄録)

シソーラス用語： *光導波路 ,  光スイッチ ,  *オプトエレクトロニクス ,  アモルファスシリコン ,  光回路 ,  *シリコンフォトニクス
準シソーラス用語： *シリコン細線光導波路 ,  光インターコネクション

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (10件)：

• SHOJI, Yuya. Low-crosstalk 2×2 thermo-optic switch with silicon wire waveguides. Opt. Express. 2010, 18, 9071-9075
• http://www.aist-victories.org/index.html
• SELVARAJA, S. Low loss amorphous silicon photonic wire and ring resonator fabricated by CMOS process. 33rd European Conference on Optical Communication (ECOC), Berlin, Germany, September 2007. 2007
• FEDELI, J.-M. Deep-UV Lithography Fabrication of Slot Waveguides and Sandwiched Waveguides for Nonlinear Applications. Conference on Group IV Photonics, Tokyo, Japan, September 2007. 2007
• SUN, R. Impedance matching vertical optical waveguide couplers for dense high index contrast circuits. Opt. Express. 2008, 16, 11682-11690

タイトルに関連する用語 (1件)： シリコンフォトニクス