文献

J-GLOBAL ID：201002225065319009   整理番号：10A0860202

65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発

Design and Development of Polarization-Analyzing Image Sensor using 65nm CMOS Process

著者 (5件)： 宍戸三四郎 (奈良先端科学技術大学院大) ,  野田俊彦 (奈良先端科学技術大学院大) ,  笹川清隆 (奈良先端科学技術大学院大) ,  徳田崇 (奈良先端科学技術大学院大) ,  太田淳 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 110  号： 140(ICD2010 21-38)  ページ： 111-114  発行年： 2010年07月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： CMOSプロセスのメタル配線層を利用したオンチップメタルグリッド偏光子を搭載した偏光計測イメージセンサにおいて,センササイズ小型化と画素ピッチ縮小による空間分解能向上を目指して,65nm標準CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・試作を行った。本報告では偏光計測イメージセンサの設計と,65nmプロセスにおける偏光検出について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *イメージセンサ ,  *偏光測定 ,  半導体プロセス ,  偏光子 ,  空間分解能 ,  計算機シミュレーション ,  電磁場解析 ,  電磁界数値解析 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  電磁界シミュレーション

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

引用文献 (14件)：

• ADAMS, M. L. Microfluidic integration on detector arrays for absorption and fluorescence micro-spectrometers. Sens. and Actuators A. 2002, 104, 25-31
• TOKUDA, T. A CMOS image sensor with optical and potential dual imaging function for on-chip bioscientific applications. Sens. and Actuators A. 2006, 125, 273-280
• HIZAWA, T. Fabrication of a two-dimensional pH image sensor using a charge transfer technique. Sens. and Actuators B. 2006, 117, 509-515
• HAMMOND, P. A. Design of a Single-Chip pH Sensor Using a Conventional 0.6-μm CMOS Process. IEEE Sens. J. 2004, 4, 706-712
• HAMMOND, Paul A. A System-on-Chip Digital pH Meter for Use in a Wireless Diagnostic Capsule. IEEE Trans. Biomed. Eng. 2005, 52, 687-694

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOSプロセス ,  偏光 ,  計測 ,  イメージセンサ ,  設計 ,  開発