抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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超低電圧動作を実現するための課題と将来方向について素子の立場からレビューした。超低電圧化実現のための主な課題として,ばらつきの一層の増大やサブスレッショルドスイング(S)の問題を説明した。その解決法としては,ばらつきの抑制と短チャネル効果の低減の両方に効果がある完全空乏型トランジスタ(Fully Depleted Transistor)の導入が考えられる。