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J-GLOBAL ID：201102223979746317   整理番号：11A1489502

光加工したアゾベンゼン膜を用いるITO薄膜のウェットエッチング

著者 (8件)： 関貴紀 (新潟大 大学院自然科学研究科) ,  大平泰生 (新潟大 大学院自然科学研究科) ,  大平泰生 (新潟大 超域研究機構) ,  清水英彦 (新潟大 大学院自然科学研究科) ,  清水英彦 (新潟大 超域研究機構) ,  金子双男 (新潟大 大学院自然科学研究科) ,  金子双男 (新潟大 超域研究機構) ,  川上貴浩 (新潟大 大学院自然科学研究科)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.30P-ZL-3  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  *エッチング ,  湿式法 ,  微細加工 ,  有機材料 ,  フォトレジスト ,  芳香族化合物 ,  アゾ化合物 ,  *ウェットエッチング ,  表面形状 ,  有機薄膜
準シソーラス用語： *ITO

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： アゾベンゼン

タイトルに関連する用語 (3件)： アゾベンゼン ,  ITO薄膜 ,  ウェットエッチング