特許
J-GLOBAL ID：201103001832487201
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願昭63-234505
公開番号（公開出願番号）：特開平2-160444
特許番号：特許第2665242号
出願日： 1988年09月19日
公開日（公表日）： 1990年06月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】静電力によって半導体ウェハーを吸着する静電チャックにおいて、この静電チャックは基材上に電極及び絶縁膜からなる層を2層以上積層し、各々の電極については電圧印加を選択的に切替可能としたことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 3/15 D
, H01L 21/68 R
