特許
J-GLOBAL ID：201103008073499792
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350129
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211228
特許番号：特許第3084869号
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁層内に内部電極を設けた静電チャックにおいて、前記絶縁層はアルミナとコランダム構造のクロミア(Cr2O3)との固溶体粒子、固溶体粒子の界面に存在するガラス及び固溶体粒子の粒界に析出する遷移金属酸化物からなり、その体積抵抗率が108〜1012Ωcmであることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
