静電チャックの設計方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-004808
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188322
特許番号：特許第3275901号
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】絶縁層内に内部電極を設けた静電チャックの設計方法において、静電チャックの使用温度における前記絶縁層の体積固有抵抗をρ(Ωm)、静電チャックの使用温度における前記絶縁層の比誘電率をεr、内部電極と絶縁層表面との間隔(厚さ)をd(m)、被吸着物と絶縁層表面とのギャップをδ(m)とした場合、これらは以下の(数1)に示す関係にあることを特徴とする静電チャックの設計方法。;;数1::

IPC (3件)：