特許
J-GLOBAL ID：201103042254298270
表面形状認識センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-279076
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117104
特許番号：特許第3866642号
出願日： 2002年09月25日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面上に互いに絶縁分離されて配置されたセンサ電極と、前記層間絶縁膜上に前記センサ電極の近傍であってかつ前記センサ電極と絶縁分離されて配置された固定電極と、前記層間絶縁膜上に前記センサ電極を覆うように形成されかつ絶縁性の部材からなるパッシベーション膜と、前記センサ電極と認識対象物の表面との間の容量に応じた信号を出力するセンサ回路とを有する複数のセンサ素子を備え、
前記固定電極は、前記パッシベーション膜表面に一部が接触した対向電極となる表面形状の認識対象物の表面と接触するように、その一部が前記パッシベーション膜表面で露出して前記層間絶縁膜上に形成され、
前記各センサ素子の容量検出手段からの信号に基づき前記認識対象物の表面形状を検出する表面形状認識センサ装置であって、
前記センサ電極と前記固定電極との距離を5μm以上とし、前記センサ素子の配置ピッチから前記センサ電極の一辺の長さの下限値20μmおよび前記固定電極の幅を差し引いた値を2で割った値以下とすることを特徴とする表面形状認識センサ装置。
IPC (3件)：
G01B 7/28 ( 200 6.01)
, A61B 5/117 ( 200 6.01)
, G06T 1/00 ( 200 6.01)
G01B 7/28 A
, A61B 5/10 322
, G06T 1/00 400 G
