特許
J-GLOBAL ID：201103045929622836
静電チャック基板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 政名
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願昭63-104843
公開番号（公開出願番号）：特開平1-274938
特許番号：特許第2582410号
出願日： 1988年04月26日
公開日（公表日）： 1989年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】支持基板上に、縦,横に正,負の電極を交互に点在させ、該正,負の電極を、支持基板内に充填されるビアホール導体及びそのビアホール導体相互を接続する架橋用導体で夫々個別に一体化し、且つ夫々の架橋用導体を外部端子に連絡させたことを特徴とする静電チャック基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 3/15 D
, H01L 21/68 P
