特許

J-GLOBAL ID：201103049974341690

静電チャック基盤

発明者： 中山 千秋 ,  井嶋 勉 ,  渡部 俊也
出願人/特許権者： 東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願昭60-236028
公開番号（公開出願番号）：特開昭62-094953
出願日： 1985年10月21日
公開日（公表日）： 1987年05月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミックスの基盤上に設けられた導体層と、該導体層を被覆する絶縁層とを備えた静電チャック基盤であって、前記絶縁層がTiO2を0.5〜2重量%添加したアルミナを主成分とし、還元焼成によって得られたことを特徴とする静電チャック基盤。

IPC (1件)：

H01L 21/68 R 8418-4M