静電チャック基盤の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願昭62-099461
公開番号（公開出願番号）：特開昭62-264638
出願日： 1985年10月21日
公開日（公表日）： 1987年11月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】テープ成形、鋳込み成形或はプレス成形等によって成形された基板用のグリーンシートとこの基板用のグリーンシートと同様の方法で成形された誘電体層用のグリーンシートとの間に、導体層を配設して未焼成状態でこれら3者を一体化し、この一体化した積層体を焼成することを特徴とする静電チャック基盤の製造方法。

IPC (1件)：