特許
J-GLOBAL ID：201103080215449537
静電チャックの電圧印加方法および電圧印加装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 邦彦 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-105679
公開番号（公開出願番号）：特開平2-285980
特許番号：特許第2779950号
出願日： 1989年04月25日
公開日（公表日）： 1990年11月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】静電チャックの電極に吸着電圧VNを印加して被吸着体を吸着させた後、被吸着体を脱離する前に、吸着電圧VNとは逆極性でその電圧値が吸着電圧VNより大きい残留吸着力消滅電圧VRを印加することを特徴とする静電チャックの電圧印加方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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