静電チャックの吸着力評価方法及び評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-071441
公開番号（公開出願番号）：特開平2-249935
特許番号：特許第2648766号
出願日： 1989年03月23日
公開日（公表日）： 1990年10月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】静電チャック上面に被吸着板を吸着させ、この被吸着板に水平方向の力を加え、被吸着板が静電チャック上面に沿って移動する直前の最大摩擦力を測定し、この摩擦力を静電チャックの全体吸着力に換算するようにしたことを特徴とする静電チャックの吸着力評価方法。

IPC (1件)：