特許

J-GLOBAL ID：201103084771036409

表面形状認識用センサおよびその製造方法

発明者： 町田 克之 ,  重松 智志 ,  森村 浩季
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199701
特許番号：特許第3318867号
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面にそれぞれが絶縁分離され、かつそれぞれ固定配置されたセンサ電極を有する複数の容量検出素子と、前記容量検出素子それぞれの容量を検出する容量検出手段と、前記層間絶縁膜上で前記センサ電極と絶縁分離されて配置された固定電極と、前記固定電極に支持されて前記センサ電極上に空間を介し所定の距離離間して対向配置され、前記センサ電極の上部に位置する部分がこのセンサ電極方向に変形可能に構成された対向電極とを備え、前記容量検出手段は前記センサ電極と前記対向電極との間の容量を検出することを特徴とする表面形状認識用センサ。

IPC (2件)：

G01B 7/34 102 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B 7/34 102 A ,  G06F 15/64 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 指紋検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-326414   出願人：日本電気株式会社