特許
J-GLOBAL ID：201103088254967198
ホールパターン形状評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-290530
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176085
特許番号：特許第3705179号
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子銃から放出された荷電粒子線を試料上で走査することによって、試料から放出される検出信号に基づいて、ホールパターンの半径方向の距離を測長するホールパターン形状評価装置において、 前記ホールパターンの一点を中心として極座標展開を行う手段と、 前記一点を示すカーソルと、前記検出信号に基づいて形成される画像に表示されたホールパターンの中心を合わせるための手段と、 前記検出信号に基づいて前記ホールパターンの一点を中心とした半径方向の座標と角度座標をそれぞれ一次元とすると共に、前記ホールパターンのエッジを含む極座標展開画像を形成する手段と、 当該極座標展開画像の前記半径方向の前記エッジ検出に基づいて、前記ホールパターンの半径方向の距離を測長する手段を備えたことを特徴とするホールパターン形状評価装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01B 15/00
, G06T 1/00
, H01J 37/22
, H01J 37/28
H01L 21/66 J
, G01B 15/00 B
, G06T 1/00 305 A
, H01J 37/22 502 H
, H01J 37/28 B
