特許

J-GLOBAL ID：201103097551116589

ニオブ酸カリウムの低温製膜法

発明者： 戸田 健司 ,  上松 和義 ,  佐藤 峰夫 ,  飯田 晃弘
出願人/特許権者： 国立大学法人 新潟大学
代理人 (4件)： 牛木 護 ,  吉田 正義 ,  松浦 康次 ,  清水 栄松
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-244764
公開番号（公開出願番号）：特開2008-063198
特許番号：特許第4474553号
出願日： 2006年09月08日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】K2NbO3Fの単結晶を基板上で潮解させ、乾燥することを特徴とするニオブ酸カリウムの低温製膜法。

IPC (3件)：

C30B 29/30 ( 200 6.01) ,  H01L 41/18 ( 200 6.01) ,  H01L 41/24 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C30B 29/30 A ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A