静電チャック用誘電体セラミックス及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-105678
公開番号（公開出願番号）：特開平2-022166
特許番号：特許第2733091号
出願日： 1989年04月25日
公開日（公表日）： 1990年01月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルミナを主成分とするセラミックス原料を還元雰囲気で焼成して成る静電チャック用誘電体セラミックスにおいて、前記セラミックス原料はアルカリ土類金属を酸化物に換算して1.0〜6.0重量%、遷移金属を酸化物に換算して0.5〜6.0重量%含むとともに、絶縁抵抗が2.0×109(Ω・cm)〜1.2×1011(Ω・cm)であることを特徴とする静電チャック用誘電体セラミックス。

IPC (2件)：