0.1μm幅pn-poly/metalゲートの1.9nm厚酸窒化膜上での形成

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J-GLOBAL ID：201202121748739385 整理番号：12A1365573

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資料名：
巻： 47th 号： 2 ページ： 750 発行年： 2000年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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