文献

J-GLOBAL ID：201202153817190748   整理番号：12A1346249

Wエッチングにおける面内均一性向上検討

著者 (7件)： 斎藤忍 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  木下啓蔵 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  斎藤幸重 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  植木誠 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  若林整 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  最上徹 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部) ,  林喜宏 (NECシステムデバイス 基礎研究潘部)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 2  ページ： 635  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： エッチング ,  均一性