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J-GLOBAL ID：201202154073944877   整理番号：12A1395702

低温前熱処理ピュアシリコンウェーハのゲッタリング能力評価

著者 (4件)： 栗田一成 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  柴崎英明 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  室井幸男 (三菱マテリアルシリコン 技術本部) ,  降屋久 (三菱マテリアルシリコン 技術本部)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 1  ページ： 358  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低温 ,  熱処理 ,  ゲッタリング ,  能力評価