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J-GLOBAL ID：201202180757715835   整理番号：12A1387025

ピュアシリコンウェーハのゲッタリング能力評価

著者 (6件)： 根本紀 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  栗田一成 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  柴崎英明 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  白木弘幸 (三菱マテリアル シリコン研究セ) ,  室井幸男 (三菱マテリアルシリコン 技術本部) ,  降屋久 (三菱マテリアルシリコン 技術本部)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 47th  号： 1  ページ： 431  発行年： 2000年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： ゲッタリング ,  能力評価