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J-GLOBAL ID:201202203264047531   整理番号:12A1437683

アゾベンゼン薄膜を用いた金薄膜の微細加工法の検討

著者 (6件):
資料名:
巻: 73rd  ページ: ROMBUNNO.13P-H2-6  発行年: 2012年08月27日 
JST資料番号: Y0055B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  金属薄膜  ,  有機化合物の薄膜 
物質索引 (1件):
物質索引
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