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J-GLOBAL ID：201202203264047531   整理番号：12A1437683

アゾベンゼン薄膜を用いた金薄膜の微細加工法の検討

著者 (6件)： 鹿野貴仁 (新潟大) ,  大平泰生 (新潟大) ,  清水英彦 (新潟大) ,  佐々木修己 (新潟大) ,  金子双男 (新潟大) ,  川上貴浩 (新潟大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 73rd  ページ： ROMBUNNO.13P-H2-6  発行年： 2012年08月27日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 金 ,  *金属薄膜 ,  湿式法 ,  エッチング ,  真空蒸着 ,  スピンコーティング ,  *有機材料 ,  原子間力顕微鏡 ,  光学顕微鏡法 ,  ピンホール ,  *微細加工 ,  光学 ,  芳香族化合物 ,  アゾ化合物 ,  ウェットエッチング ,  近接場光学 ,  有機薄膜 ,  金膜
準シソーラス用語： 金薄膜

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： アゾベンゼン

タイトルに関連する用語 (4件)： アゾベンゼン ,  薄膜 ,  金薄膜 ,  微細加工法