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J-GLOBAL ID：201302230451656082   整理番号：13A1413161

シリコンウェーハの原子空孔軌道の巨大な四極子-歪み相互作用

著者 (12件)： 後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  三本啓輔 (新潟大 大学院) ,  赤津光洋 (新潟大 大学院) ,  馬場正太郎 (新潟大 大学院) ,  高須理恵 (新潟大 大学院) ,  岡部和樹 (新潟大 大学院) ,  岡部和樹 (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (九州工大) ,  斎藤広幸 (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  鹿島一日兒 (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  斉藤芳彦 (東芝)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 68  号： 2 第3分冊  ページ： 444  発行年： 2013年08月26日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *空孔欠陥 ,  *四重極 ,  歪 ,  相互作用 ,  シリコンウエハ ,  原子空孔
準シソーラス用語： 四極子

分類 (2件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコンウェーハ ,  原子空孔 ,  軌道 ,  四極子 ,  歪み ,  相互作用