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J-GLOBAL ID：201402202292599432   整理番号：14A0223719

プラズマシミュレーションによるマイクロトレンチ形状物への三次元DLCコーティング解析

著者 (4件)： PARK Wonsoon (東大 大学院) ,  平田祐樹 (東大 大学院) ,  CHOI Junho (東大 工) ,  加藤孝久 (東大 工)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
巻： 2013  号： 春  ページ： ROMBUNNO.E10  発行年： 2013年05月10日 
JST資料番号： Y0047C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜成長 ,  三次元 ,  *溝 ,  *プラズマシミュレーション ,  シミュレータプログラム ,  粒子 ,  荷電粒子 ,  中性粒子 ,  衝突 ,  イオン注入 ,  プラズマ曝露 ,  *微細溝 ,  PIC法 ,  *薄膜形成 ,  *計算機利用 ,  *利用
準シソーラス用語： *成膜 ,  三次元構造 ,  Monte Carlo Collision法 ,  PBII法【プラズマ】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマシミュレーション ,  マイクロ ,  トレンチ ,  DLCコーティング ,  解析