バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング-プラズマ挙動解析

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J-GLOBAL ID：201402242496323390 整理番号：13A1947869

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資料名：
巻： 33rd ページ： 100 発行年： 2013年11月26日
JST資料番号： L1366A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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半導体薄膜

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