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J-GLOBAL ID：201402290632325690   整理番号：14A1326537

窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発

著者 (3件)： BAO Zhongqing (東北大) ,  原基揚 (東北大) ,  桑野博喜 (東北大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 31st  ページ： ROMBUNNO.20PM3-PS061  発行年： 2014年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *薄膜 ,  *センサ ,  弾性表面波 ,  歪計 ,  弾性表面波素子 ,  スパッタリング ,  ウエハ【IC】 ,  共振周波数 ,  歪センサ ,  シリコンウエハ ,  *弾性表面波センサ
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  *圧電薄膜 ,  表面弾性波 ,  *表面弾性波センサ ,  表面弾性波素子 ,  歪ゲージ

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化アルミニウム ,  圧電薄膜 ,  表面弾性波 ,  ひずみセンサ ,  開発