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J-GLOBAL ID：201402291792188636   整理番号：13A1947868

バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング-膜の構造および機械的特性評価

著者 (4件)： 平田祐樹 (東大 工) ,  大西弘益 (東大 工) ,  加藤孝久 (東大 工) ,  崔しゅん豪 (東大 工)
資料名： 表面科学学術講演会講演要旨集  (表面科学学術講演会要旨集)
巻： 33rd  ページ： 99  発行年： 2013年11月26日 
JST資料番号： L1366A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  坑道 ,  溝 ,  *イオン注入 ,  膜厚 ,  トレンチ
準シソーラス用語： *PBII法【プラズマ】

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： バイポーラ ,  PBII法 ,  トレンチ ,  DLCコーティング ,  機械的特性評価