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J-GLOBAL ID：201402298190244246   整理番号：13A1948539

撮像デバイスの3次元集積化に向けた要素技術の開発

著者 (8件)： 萩原啓 (NHK 放送技研) ,  後藤正英 (NHK 放送技研) ,  大竹浩 (NHK 放送技研) ,  井口義則 (NHK 放送技研) ,  更屋拓哉 (東大) ,  日暮栄治 (東大) ,  年吉洋 (東大) ,  平本俊郎 (東大)
資料名： 映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集(CD-ROM)  (Proceedings of the ITE Winter Annual Convention (CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.11-3  発行年： 2013年11月27日 
JST資料番号： L2772B  ISSN： 1880-6953  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 集積 ,  三次元 ,  *イメージセンサ ,  バイアホール ,  高密度実装 ,  多層配線 ,  *SOI構造 ,  *固体撮像装置 ,  シリコン貫通ビア
準シソーラス用語： 三次元集積化 ,  *固体撮像デバイス ,  TSV【配線】

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 撮像デバイス ,  3次元集積化 ,  要素技術 ,  開発