特許

J-GLOBAL ID：201403095017549908

蛍光レジスト組成物および、その用途

発明者： 大嶽 知之 ,  中川 勝 ,  川島 政彦 ,  高岡 利明 ,  久保 祥一
出願人/特許権者： 日油株式会社 ,  国立大学法人東北大学 ,  旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (2件)： 酒井 一 ,  蔵合 正博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200307
公開番号（公開出願番号）：特開2011-051153
特許番号：特許第5397941号
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 蛍光物質(A)、熱可塑性高分子(B)および、前記(A)成分と(B)成分を共に溶解する溶剤(C)を含むナノインプリント用蛍光レジスト組成物であって、 蛍光物質(A)の最大励起波長が350〜600nmかつ最大蛍光波長が400〜700nmであり、蛍光物質(A)の融点が200°C以上であることを特徴とする熱ナノインプリント用蛍光レジスト組成物。

IPC (3件)：

B29C 59/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  C09B 3/14 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B29C 59/02 ZNM Z ,  H01L 21/30 502 D ,  H01L 21/30 502 R ,  C09B 3/14