文献

J-GLOBAL ID：201502213421467920   整理番号：15A0601710

タイミングデバイス用圧電薄膜共振子における電極材料によるQ値改善の検討

著者 (2件)： 原基揚 (東北大) ,  桑野博喜 (東北大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 6th  ページ： ROMBUNNO.21PM1-A4  発行年： 2014年10月13日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧電薄膜共振子(FBAR)の時間制御素子への展開を鑑み,電極設計によるQ値の改善を検討した。本検討において,Masonモデルを用いた独自の計算プログラムを開発し,共振周波数と特性インピーダンスとの影響を抑制した解析を実施した。その結果,低音速の金属を用いることで,電極内の減衰による影響を抑制でき,高いQ値が得やすくなることが示された。また,上記計算で得られた共振特性を用いて,回路シミュレータ上にて発振器を設計し,電極設計によって得られるQ値の改善が,位相ノイズの抑制に有効であることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： 音響共振器 ,  *時間制御 ,  音響機器 ,  機能素子 ,  Q値 ,  *電極材料 ,  計算機プログラム ,  位相雑音 ,  発振器 ,  音響デバイス
準シソーラス用語： *圧電薄膜共振子 ,  位相ノイズ ,  音響素子

分類 (1件)： 電話  (ND11030P)

タイトルに関連する用語 (4件)： デバイス ,  圧電薄膜共振子 ,  電極材料 ,  Q値