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J-GLOBAL ID：201502241624310612   整理番号：15A0601762

ステンレス板ばね構造を有するAlN圧電薄膜発電機

著者 (3件)： HE Jianjun (東北大) ,  原基揚 (東北大) ,  桑野博喜 (東北大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 6th  ページ： ROMBUNNO.22AM2-E4  発行年： 2014年10月13日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ステンレス板バネ構造を有するAlN圧電発電素子の開発を行った。素子はステンレス基板と試験質量とからなり,スペーサと金属リッドとを用いて封止できるように設計されている。ステンレス基板は,板バネと電極との機能を有し,上面にAlN圧電膜とAl電極とが堆積されている。AlNは反応性スパッタリング法を用いて堆積され,半値幅1.34°の優れたc軸配向を有する。作成した発電素子は振動加速度1g,振動周波数65Hz,負荷抵抗400kΩにて72.6μWの出力を示した。出力密度は896W/cm³であった。(著者抄録)

シソーラス用語： 圧電素子 ,  窒化アルミニウム ,  板ばね ,  ステンレス鋼 ,  薄膜 ,  反応性スパッタリング ,  *エネルギー変換 ,  発電 ,  *振動発電 ,  エネルギーハーベスティング
準シソーラス用語： *圧電薄膜 ,  エネルギー採取

分類 (2件)： その他の発電  (NB03140M) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ステンレス板 ,  ばね構造 ,  AlN ,  圧電薄膜 ,  発電機