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J-GLOBAL ID：201502249419344912   整理番号：15A0601740

ZnO/ステンレス構造を有する振動型エナジーハーベスタの試作

著者 (4件)： 細川翔多 (東北大) ,  原基揚 (東北大) ,  大口裕之 (東北大) ,  桑野博喜 (東北大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 6th  ページ： ROMBUNNO.21PM3-PM013  発行年： 2014年10月13日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自立型センサノード構築のため,環境適合性と大振幅動作でのロバスト性に優れる振動型発電素子の開発を行った。発電素子は破壊靭性に優れるステンレスを基材とし,圧電膜としてZnOを採用した。ZnOはPZTのように有毒な鉛を含まず,高い環境適合性を示す。発電素子の大振幅動作では,ZnO膜内のピンホールに起因するリーク電流が課題となるが,本研究では,上部電極直下に酸化膜を挿入し,大幅な特性改善を確認した。本素子は0.7m/s²の振動加速度の印加に対して,150nWの発電特性を示した。(著者抄録)

シソーラス用語： エネルギー変換 ,  *酸化亜鉛 ,  ステンレス鋼 ,  *発電 ,  酸化膜 ,  二酸化ケイ素 ,  化学蒸着 ,  特性 ,  振動発電 ,  化成皮膜
準シソーラス用語： *振動エネルギー採取 ,  発電特性

分類 (1件)： その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnO ,  ステンレス ,  試作