特許
J-GLOBAL ID：201503007578448290
ヘテロ接合電界効果トランジスタ現象を観察する方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-109220
公開番号（公開出願番号）：特開2015-008284
出願日： 2014年05月27日
公開日（公表日）： 2015年01月15日
要約：
【課題】ヘテロ接合電界効果トランジスタで生じる電流コラプスよって発現する電界領域の位置を短時間で特定可能な技術の開発が望まれている。【解決手段】ヘテロ接合電界効果トランジスタ1で生じる電流コラプス現象を観察する評価装置100は、ヘテロ接合電界効果トランジスタ1にレーザ光を照射する光照射装置10、及びレーザ光が照射された領域に発生する2次高調波(SHG:Second Harmonic Generation)の強度を検出する検出装置20を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ヘテロ接合電界効果トランジスタで生じる電流コラプス現象を観察する方法であって、
前記ヘテロ接合電界効果トランジスタに光を照射し、前記光が照射された領域に発生する高次高調波の強度を検出する検出工程を備える方法。
IPC (4件)：
H01L 21/338
, H01L 29/778
, H01L 29/812
, H01L 21/66
H01L29/80 H
, H01L21/66 V
4M106AB01
, 4M106BA05
, 4M106BA14
, 4M106CA04
, 4M106CA70
, 5F102FA09
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GJ03
, 5F102GK04
, 5F102GK08
, 5F102GL04
, 5F102GM04
, 5F102GQ01
, 5F102GR12
