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J-GLOBAL ID:201602206703301295   整理番号:16A0281247

溶液法による4H-SiCバルク結晶成長と結晶品質評価

著者 (15件):
資料名:
巻: 63rd  ページ: ROMBUNNO.20A-H101-6  発行年: 2016年03月03日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 

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