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J-GLOBAL ID：201602210295922666   整理番号：16A0284215

フォトリソグラフィで作製したQ値100万を越えるシリコンフォトニック結晶ナノ共振器

著者 (8件)： 芦田紘平 (大阪府大 大学院) ,  岡野誠 (産業技術総合研) ,  大塚実 (産業技術総合研) ,  関三好 (産業技術総合研) ,  横山信幸 (産業技術総合研) ,  越野圭二 (産業技術総合研) ,  森雅彦 (産業技術総合研) ,  高橋和 (大阪府大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.22P-S621-3  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： フォトリソグラフィー ,  *Q値 ,  フォトニック結晶 ,  ケイ素 ,  微小共振器 ,  *光共振器 ,  *フォトニック結晶共振器
準シソーラス用語： シリコン ,  ナノ共振器

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (6件)： フォトリソグラフィ ,  作製 ,  Q値 ,  シリコン ,  フォトニック結晶 ,  ナノ共振器