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J-GLOBAL ID：201602217645852264   整理番号：16A0646509

表面弾性波共振子を利用したマルチセンサモジュールのための超小型角速度センサの開発

著者 (1件)： 原基揚 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 村田学術振興財団年報  (Annual Report of the Murata Science Foundation)
号： 30  ページ： 242-251  発行年： 2016年06月 
JST資料番号： L5491A  ISSN： 0919-3383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 一つの弾性表面波共振子からなる超小型角速度センサを報告した。Biryukovの弾性表面波におけるジャイロ効果の数値解析結果をもとに,一つの共振器からなる角速度センサの試作と評価を行った。このセンサには,プリント板上に,LiNbO₃基板を用いた弾性表面波共振子と,発振器用の増幅回路が実装されている。この試作器で,弾性表面波の伝搬方向と直交する軸に回転を印加した場合に,発振周波数が有意に増加することを確認した。この結果は,弾性表面波共振し単体でのジャイロ効果を実測したはじめての結果である。

シソーラス用語： *速度センサ ,  *センサ ,  *共振器 ,  増幅器 ,  回転 ,  *周波数 ,  *角速度センサ ,  発振周波数 ,  マイクロセンサ
準シソーラス用語： 増幅回路 ,  超小型センサ ,  *表面弾性波共振器

分類 (3件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  共振器  (NC04050Y) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

引用文献 (12件)：

• Y. Murakawa, M. Hara, H. Oguchi, Y. Hamate, and H. Kuwano, “Surface acoustic wave based sensors employing ionic liquid for hydrogen sulfide gas detection“ , Microsystem Technologies, Vol.19, Issue.8 pp.1255-1259, August 2013.
• Z. Bao, M. Hara, M. Mitsui, K. Sano, S. Nagasawa, and H. Kuwano, “Experimental study of highly sensitive sensor using a surface acoustic wave resonator for wireless strain detection“ , Jpn. J. Appl. Phys., Vol.51,No.7S, pp.07GC23, July 2012.
• M. Kadota, S. Ito, Y. Ito, T. Hada, and K. Okaguchi, “Magnetic sensor based on surface acoustic wave resonators“ , Jpn. J. Appl. Phys., Vol.50, No.7S, pp.07HD07, July 2011.
• J. Kondoh, T. Imayama, Y. Matsui, and S. Shiokawa, “Enzyme biosensors based on surface acoustic wave device“ , Electronics and Communications in Japan (PartII: Electronics) , Vol.79, Issue 7 pp.69-75, March 1996.
• T. Wren and J. S. Burdess, “Surface waves perturbed by rotation“ , J. Appl. Mechanics Trans. ASME, Vol.54 pp.464-466, June 1987.

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面弾性波 ,  共振子 ,  角速度センサ ,  開発